哈爾濱科友半導體6英寸碳化硅襯底正式投產(chǎn)
據粉體圈消息:8月18日,位于哈爾濱新區,投資10億元建設的科友第三代半導體產(chǎn)學(xué)研聚集區項目一期正式投產(chǎn),預計年底全部達產(chǎn)后可形成年產(chǎn)能10萬(wàn)片6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)能力。
據悉,哈爾濱科友半導體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司(科友半導體)成立于2018年,是一家專(zhuān)注于第三代半導體裝備研發(fā)、襯底制造、器件設計、技術(shù)轉移和科研成果轉化的國家級高新技術(shù)企業(yè)。去年7月,科友半導體產(chǎn)學(xué)研聚集區項目正式開(kāi)工建設。主要建設中俄第三代半導體研究院、中外聯(lián)合技術(shù)創(chuàng )新中心、科友半導體襯底制備中心、科友半導體高端裝備制造中心、國際孵化基地、科友半導體產(chǎn)品檢驗檢測中心、人工寶石展覽館等項目。項目全部達產(chǎn)后,最終形成年產(chǎn)高導晶片近10萬(wàn)片,高純半絕緣晶體1000公斤的產(chǎn)能;PVT-SIC晶體生長(cháng)成套設備年產(chǎn)銷(xiāo)200臺套。
科友半導體研制的碳化硅感應長(cháng)晶爐已實(shí)現99%的部件國產(chǎn)化替代,電阻式長(cháng)晶爐也具備投產(chǎn)條件。在碳化硅晶體生長(cháng)方面,科友半導體在6英寸碳化硅單晶厚度上突破32毫米,達到國內領(lǐng)先。同時(shí),在長(cháng)晶周期、生產(chǎn)成本、晶體良率等方面已經(jīng)達到并保持國際同行業(yè)先進(jìn)水平。按照企業(yè)發(fā)展規劃,未來(lái)兩年科友半導體將實(shí)現年產(chǎn)20萬(wàn)-30萬(wàn)片碳化硅襯底的產(chǎn)能,成為全球碳化硅襯底重要供應商之一。
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