近30年的SiC外延系統演變
近30年的SiC外延系統演變
Epigress熱壁式SiC外延生長(cháng)系統
•單晶片2”直徑
•手動(dòng)裝載和卸載外延片
•過(guò)程手動(dòng)控制
•基于硅烷(SiH4)的工藝–不含氯
•增長(cháng)率限制在10微米/小時(shí)左右
Aixtron暖壁系統
•多晶片6”直徑(8”)
•自動(dòng)加載和卸載外延片
•配方控制過(guò)程
•基于氯硅烷的工藝
•(TCS)增長(cháng)率通常為30微米/小時(shí)
•主要用于>30um的外延層
Epiluvac集群式熱壁系統
•最大直徑為8英寸的單晶片室
•腔室可以組合在一個(gè)集群設備中,用于不同的摻雜層(n、p型)
•腔室之間的晶片轉移發(fā)生在空閑溫度和真空下。
•外延片的自動(dòng)加載鎖定加載、預熱、冷卻和卸載
•通過(guò)配方控制過(guò)程
•基于氯硅烷(TCS)的工藝證明生長(cháng)速率超過(guò)100um/hr
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