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山西爍科晶體成功實(shí)現8英寸碳化硅晶體小批量量產(chǎn)

文章出處:粉體圈網(wǎng)責任編輯:作者:粉體圈人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-03-05 13:34:00【

近日,電科材料下屬山西爍科晶體有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)爍科公司)成功研制出8英寸碳化硅晶體,實(shí)現了8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)。

由于碳化硅對溫度及壓力控制有著(zhù)極其苛刻的要求,而且其本身具有的高硬度、高脆性、低斷裂韌性等特點(diǎn),都使得大尺寸碳化硅單晶的制備及切割成為非常棘手的問(wèn)題。

爍科公司專(zhuān)業(yè)深耕碳化硅材料領(lǐng)域,經(jīng)過(guò)刻苦攻關(guān),于去年8月研制出8英寸碳化硅晶體,成功解決大尺寸單晶制備的重要難題。近日又再次取得重大突破,實(shí)現8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn),向8英寸國產(chǎn)N型碳化硅拋光片的批量化生產(chǎn)邁出了關(guān)鍵一步,進(jìn)一步縮小國內外技術(shù)差距,為我國碳化硅事業(yè)的自主保障能力、自主創(chuàng )新發(fā)展夯基固本。

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