碳化硅陶瓷反應(yīng)連接技術(shù)
全封閉、中空部件的制備一般采用連接工藝獲得，目前常用的陶瓷連接方法主要有釬焊、擴散焊等，但這些方法均存在工藝復(fù)雜、焊接料性能同碳化硅基體差別大等缺點，難以滿足光刻機等集成電路制造裝備對復(fù)雜結(jié)構(gòu)部件的使用要求。
根據(jù)反應(yīng)燒結(jié)碳化硅的工藝特點，將待粘接零部件進行預(yù)處理，并通過粘接料對制品進行粘接，隨后再進行反應(yīng)燒結(jié)，使制品的連接與反應(yīng)燒結(jié)同步完成。通過調(diào)節(jié)粘接料的組分、控制連接工藝，可實現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)部件的致密、高強度、無縫隙粘接。
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