復雜結構碳化硅陶瓷未來(lái)發(fā)展領(lǐng)域
隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展,碳化硅陶瓷的應用領(lǐng)域進(jìn)一步拓寬,但特殊的使用工況也對SiC陶瓷制品的形狀復雜性提出了更高的要求。例如:在航空航天領(lǐng)域,為了提高光學(xué)系統的分辨率,碳化硅陶瓷反射鏡必須滿(mǎn)足口徑大、質(zhì)量小的要求,因此反射鏡的減重設計越來(lái)越復雜;在集成電路領(lǐng)域,碳化硅陶瓷作為集成電路裝備關(guān)鍵組成部分,其結構復雜,精度要求極高;在化工醫藥領(lǐng)域,碳化硅陶瓷可以用于制作能進(jìn)行化學(xué)反應的三維結構微反應器元件,結構極其復雜。
由此可見(jiàn),復雜結構碳化硅陶瓷在現代科技的發(fā)展中發(fā)揮著(zhù)越來(lái)越重要的作用。SiC陶瓷常用的燒結工藝有無(wú)壓燒結、反應燒結、熱壓燒結和熱等靜壓燒結等,而制備高致密度、高性能要求的SiC陶瓷制品通常需采用熱壓和熱等靜壓等成型工藝。為滿(mǎn)足碳化硅陶瓷的復雜結構設計要求,優(yōu)化碳化硅陶瓷的制備工藝、實(shí)現近凈成型制備是關(guān)鍵,為此,將合適的成型技術(shù)與燒結技術(shù)科學(xué)的組合起來(lái)非常重要。
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